2009年，亦庄国投向北方微电子增资1.2亿元以支持其基地建设；2012年，亦庄国投以共享知识产权的方式向北方微电子提供专项地配资金以保障“90/65nm刻蚀机研发与产业化项目”的顺利实施。2015年，上市公司七星电子发行股份收购北方微电子的全部股权，并更名为北方华创，股票代码为002371.SZ，项目实现退出。

北方华创聚集了一批由海外归国专家、留学回国人员组成的团队，积极探究国际主流先进工艺技术，在刻蚀工艺、薄膜工艺、等离子技术、精密机械、自动化及软件、超高真空等方面积累核心技术优势，并已成为一家具有国际影响力的高端装备及工艺解决方案提供商。

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