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科益虹源

发布时间:
2018/11/29
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2016年7月,亦庄国投、中国科学院光电院及微电子所、国科控股等共同出资设立北京科益虹源光电技术有限公司。

公司专注于准分子激光器的研发、生产和销售,是国内少数具备高端准分子激光技术研究和产品化能力的公司,其系列产品填补了国内市场空白。2018年3月,科益虹源自主设计开发的国内首台高能准分子激光器顺利出货,打破了国外厂商的长期垄断。公司目前承担国家02重大专项浸没光刻光源研发任务,预计2020年将与整机单位共同完成28nm国产光刻机的集成工作,对我国集成电路产业的发展具有重大意义。